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  • MANUFACTURER : EBARA EDWARDS ALCATEL
    MODEL : IH 1800 ETC
    PROCESS :
    SIZE(mm) :
    VINTAGE :
    S/N :
    GEF_ID :
  • MANUFACTURER : AMAT
    MODEL : AMAT CENTURA HDP _UL…
    PROCESS : dry etching
    SIZE(mm) : 200
    VINTAGE : 1996
    S/N : 8162
    GEF_ID :
  • MANUFACTURER : AMAT
    MODEL : AMAT DPS PLUS POLY
    PROCESS : POLY ETCH
    SIZE(mm) : 150
    VINTAGE :
    S/N : 412734
    GEF_ID :
  • MANUFACTURER : SEMITOOL
    MODEL : Raider ECD310
    PROCESS :
    SIZE(mm) : 300MM
    VINTAGE :
    S/N : 'T239421
    GEF_ID :
  • MANUFACTURER : TEL
    MODEL : TRIAS
    PROCESS : CVD
    SIZE(mm) : 300MM
    VINTAGE :
    S/N :
    GEF_ID :
  • MANUFACTURER : RISSHI
    MODEL : FM-101
    PROCESS :
    SIZE(mm) :
    VINTAGE :
    S/N : 0712773
    GEF_ID :
  • MANUFACTURER : RISSHI
    MODEL : YR-8020SC
    PROCESS :
    SIZE(mm) :
    VINTAGE :
    S/N : 0712777
    GEF_ID :
  • MANUFACTURER : AMAT
    MODEL : UVISION4
    PROCESS : METROLOGY
    SIZE(mm) : 300
    VINTAGE :
    S/N : T7015
    GEF_ID :
  • MANUFACTURER : DNS
    MODEL : SS-W60A-AR
    PROCESS : WET
    SIZE(mm) : 150
    VINTAGE :
    S/N : '59700-6211
    GEF_ID :
  • MANUFACTURER : DNS
    MODEL : SS-W60A-AR
    PROCESS : WET
    SIZE(mm) : 150
    VINTAGE :
    S/N : 59700-6206
    GEF_ID :

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