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MANUFACTURER : SHIBATEC    MODEL : ICE300    PROCESS : ASHER    SIZE(mm) : 300mm
VINTAGE :    S/N : APT002260    GEF_ID :
MANUFACTURER : SHIBATEC    MODEL : ICE300    PROCESS : ASHER    SIZE(mm) : 300mm
VINTAGE :    S/N : APT001570    GEF_ID :
MANUFACTURER : SHIBATEC    MODEL : ICE300    PROCESS : ASHER    SIZE(mm) : 300mm
VINTAGE :    S/N : APT001880    GEF_ID :
MANUFACTURER : SHIBATEC    MODEL : ICE300    PROCESS : ASHER    SIZE(mm) : 300mm
VINTAGE :    S/N : APT001560    GEF_ID :
MANUFACTURER : ULVAC    MODEL : PHOENIX Ⅱ    PROCESS :    SIZE(mm) : 200mm
VINTAGE :    S/N : PH2TOJ-01    GEF_ID :
MANUFACTURER : RAMCO    MODEL : RAM8500    PROCESS :    SIZE(mm) :
VINTAGE :    S/N : 7280    GEF_ID :
MANUFACTURER : RAMCO    MODEL : RAM8500    PROCESS :    SIZE(mm) : 200mm
VINTAGE :    S/N : 7302    GEF_ID :
MANUFACTURER : RAMCO    MODEL : RAM8500    PROCESS :    SIZE(mm) : 200mm
VINTAGE :    S/N : 7301    GEF_ID :
MANUFACTURER : RAMCO    MODEL : RAM8500    PROCESS :    SIZE(mm) : 200mm
VINTAGE :    S/N : 7324    GEF_ID :
MANUFACTURER : ULVAC    MODEL : UNA-2200    PROCESS : ASHER    SIZE(mm) : 200mm
VINTAGE : 1993    S/N : none    GEF_ID :

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#C, 106-1, Annyeongnam-ro
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